机译:利用微波谐振器的近场对微机械悬臂梁进行激励,检测和被动冷却
National Physical Laboratory, Hampton Road, Teddington, Middlesex TW11 0LW, United Kingdom;
National Physical Laboratory, Hampton Road, Teddington, Middlesex TW11 0LW, United Kingdom;
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机译:具有厚膜印刷振动激励和检测机制的硅微机械谐振器
机译:使用近场微波双特性谐振器滤波器检测金属表面的微裂纹
机译:基于差分无源微波平面谐振器的传感器,用于污染环境中的化学粒子检测
机译:NEMS谐振器的近场微波激发和检测
机译:亚纳质量负载的CMOS-MEMS悬臂谐振器振荡器,用于气体检测。
机译:无源和集成近场微波生物传感器的综述
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