基于微带谐振器的微波微等离子体线性阵列的激励特性研究

摘要

本文基于微带线谐振器理论和耦合模理论,采用13单元微波微等离子体线性阵列源,研究了不同真空度、输入功率等对微波微等离子体线性阵列激励特性的影响.实验结果表明,微波微等离子体线性阵列的放电区域随着输入功率和真空度的减小而减小.这为小功率微波微等离子体线性阵列源的进一步研究提供基础.