基于微带环缝谐振器的2.45GHz小功率微波等离子体源的建模与仿真

廖斌; 张少君; 朱守正

首页> 中文期刊> 《电子与信息学报》 >基于微带环缝谐振器的2.45GHz小功率微波等离子体源的建模与仿真

基于微带环缝谐振器的2.45GHz小功率微波等离子体源的建模与仿真

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

该文介绍了一种基于微带环缝谐振器的2.45GHz小功率微波等离子体源的建模方法.根据半波长终端开路谐振器的特性,通过选择合适的缝隙宽度和偏转角度、介质基片的介电常数等,使微带环缝谐振器的品质因数最大,同时与馈电端良好匹配.研究表明,实验结果与仿真结果基本吻合,这为小功率微型微波等离子体源的进一步研究提供了理论基础.

著录项

来源
《电子与信息学报》 |2007年第10期|2512-2516|共5页
作者
廖斌; 张少君; 朱守正;
展开▼
作者单位

华东师范大学信息学院电子系,上海,200062;

华东师范大学信息学院电子系,上海,200062;

华东师范大学信息学院电子系,上海,200062;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类微波与超高频技术;
关键词
微波等离子体源; 微带环缝谐振器; 品质因数;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 基于微带环缝谐振器的小功率微波等离子体源 [J] . 廖斌 ,张少君 ,赵娜 . 上海交通大学学报 . 2009,第3期
2. 基于微带谐振器的三维约束微波微等离子体源的实现 [J] . 唐佳丽 ,明小祥 ,于新海 . 华东理工大学学报（自然科学版） . 2016,第002期
3. 直接馈电微带缝环谐振器实现微波等离子体源 [J] . 韩婷 ,廖斌 . 信息通信 . 2009,第003期
4. 基于微带谐振器的微波微等离子体线性阵列的激励特性研究 [J] . 张秀秀 ,廖斌 . 真空电子技术 . 2019,第006期
5. 小功率平面螺旋电感耦合微波等离子体源的研究 [J] . 廖斌 ,周蓓 ,曹焕丽 . 电子学报 . 2009,第008期
6. 2.45GHz平面微带螺旋电感微波等离子体源的建模研究 [C] . 曹焕丽 ,廖斌 ,朱守正 . 第十二届全国微波能应用学术会议 . 2005
7. 用于小功率微波等离子体源的微带环缝谐振器的研究 [A] . 张少君 . 2006

基于微带环缝谐振器的2.45GHz小功率微波等离子体源的建模与仿真

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅