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机译:基于ter等离子体的短波极紫外光源的光谱和转换效率的理论研究
Quantum Beam Science Directorate, Japan Atomic Energy Agency, 8-1 Umemidai, Kizugawa-shi, Kyoto 619-0215, Japan;
Institute of Laser Engineering, Osaka University, 2-6 Yamadaoka, Suita, Osaka 565-0871, Japan;
Institute for Laser Technology, 1-8-4 Utsubohonmachi, Nishi-ku, Osaka 550-0004, Japan;
Institute for Laser Technology, 1-8-4 Utsubohonmachi, Nishi-ku, Osaka 550-0004, Japan;
Department of Electrical and Electronic Engineering, Okayama University, 1-1 Naka 3-Chome, Tsushima, Okayama 700-8530, Japan;
Physics Laboratory, School of Medicine, Kitasato University, 1-15-1 Kitasato, Sagamihara, Kanagawa 228-8555, Japan;
机译:激光生产的基于等离子体的极紫外光源技术,用于大批量制造极紫外光刻
机译:基于XE射流的激光等离子体源的转换效率在11nm的波长附近的XE射流
机译:通过引入光学反馈回路来提高KERR-CHAN基宽带多波长光源的非线性能量转换效率
机译:激光生产等离子体EUV光源高转化效率和锡碎屑缓解的研究 - (PPT)
机译:强烈的毛细管放电等离子体极紫外光源,用于极紫外光刻和其他极紫外成像应用。
机译:极紫外光刻光源的激光产生的锡等离子体的电子密度和温度的时间分辨二维分布
机译:台式激光等离子体光源发出的短脉冲,极紫外连续光
机译:1965年在洛斯阿拉莫斯进行的apra-aEC联合闪电研究。第一卷。闪电频谱。闪电中的电荷转移。电能转换为可见辐射的效率