机译:通过几何不对称调整纳米机械谐振器中的压阻传递
Institut de Microelectronica de Barcelona (IMB-CNM CSIC), Campus UAB, 08193 Bellaterra, Spain;
Institut de Microelectronica de Barcelona (IMB-CNM CSIC), Campus UAB, 08193 Bellaterra, Spain,CEA-LETI, rue des Martyrs, 38054 Grenoble, France;
Institut de Microelectronica de Barcelona (IMB-CNM CSIC), Campus UAB, 08193 Bellaterra, Spain;
Institut Catala de Nanociencia i Nanotecnologia (ICN2), Campus UAB, 08193 Bellaterra Spain;
Instituto de Microelectronica de Madrid (IMM-CSIC), 28760 Tres Cantos, Madrid, Spain;
Institut de Microelectronica de Barcelona (IMB-CNM CSIC), Campus UAB, 08193 Bellaterra, Spain;
机译:纳米机械束谐振器的高灵敏度线性压阻转导
机译:双端音叉SOI MEMS谐振器中的压阻转换,可增强线性电性能
机译:外差下混法观察压阻金刚石纳米机械谐振器的非线性耗散
机译:基于纳米力学压阻转导的共振加速度计
机译:热压电阻和压电M / NEMS谐振器的面向应用的批量制造和系统级集成
机译:二维纳米机械谐振器中的结构非理想性和不对称性
机译:通过几何不对称调整纳米机械谐振器中的压阻传递
机译:多层多晶硅谐振器中的压阻式转换。