空調設備における水質管理と水処理（5）用途別の水質管理と水処理特殊用途2-クリーンルームの空調設備における純水の用途

摘要

半導体製造用クリーンルームの環境が製品の品質にrn与える影響は極めて大きい。制御すべき環境因子としrnては温度，湿度，清浄度（微粒子，ガス状物質），静電rn気，振動などがあげられ，最適な状態が維持されていrnる。rn本稿では，まず純水?超純水の製造方法について述rnべ，さらにクリーンルームの空調設備のうち，純水をrn用いるエアワッシヤ（ガス状物質対策）と加湿設備（温rn湿度調整および静電気対策）についてとりあげる。%In a clean room for semiconductor manufacturing, the influence of the environment on the quality of the product is extremely large. Factors of environment include temperature, humidity, purification, level, static electricity, vibration, etc, and are controlled to an appropriate condition.rnIn this literature, the manufacturing process of pure water and ultrapure water is described.rnFurthermore, among the air conditioning facilities in the clean room,the air washer and humidifying equipments, which use pure water, are featured.