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【2h】

Automated measurement and analysis of sidewall roughness using three-dimensional atomic force microscopy

机译：使用三维原子力显微镜自动测量和分析侧壁粗糙度

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著录项

期刊名称 Applied Microscopy
作者
Seong-Hun Yun; Su-Been Yoo; Ah-Jin Jo; Jun-Ho Lee; Sang-Joon Cho; Haneol Cho; Byoung-Woon Ahn;
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作者单位

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年(卷),期 2022(52),52
年度 2022
页码 1
总页数 8
原文格式 PDF
正文语种
中图分类
关键词

机译：AFM;3D-AFM;测量和分析;侧壁粗糙度;计量和检测;

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com