inductively coupled plasma etching; nanometer tip; high aspect ratio; small apex;
机译:硅准各向同性刻蚀制造埋入栅型环绕栅晶体管的纳米硅柱
机译:电感耦合等离子体反应离子刻蚀制备多孔硅表面的简单快速方法
机译:使用低温感应耦合等离子体反应离子刻蚀制备壁厚低于10 nm的单晶硅纳米管
机译:使用电感耦合等离子体的硅刻蚀技术,适用于制造硅纳米线和环形谐振器
机译:在感应耦合等离子体反应器中研究碳氟化合物沉积和蚀刻对硅和二氧化硅蚀刻工艺的影响(使用三氟化甲基),并开发了用于研究等离子体与表面相互作用机理的反应离子束系统。
机译:超快载体弛豫动态在量子限制非各向同性硅纳米结构由电感耦合等离子体工艺合成
机译:使用各向同性电感耦合等离子体蚀刻的硅纳米尖端批量制造
机译:先进的电感耦合等离子体蚀刻工艺制造谐振器 - 量子阱红外光电探测器。