Aluminum nitride PEALD Sharp interface Good uniformity;
机译:具有清晰界面和良好均匀性的在Si(100)上的PEALD生长晶体AlN膜
机译:在具有尖锐界面的Si(100)衬底上PEALD沉积的结晶GaN膜
机译:用于AlGaN / GaN HEMT的PEALD生长AlN钝化机理:通过极化电荷补偿界面陷阱
机译:厚度取决于脉冲直流反应溅射沉积AlN薄膜的晶体质量和残余应力
机译:正电子an没螺旋钻电子光谱在砷化镓上生长的界面缺陷和超薄铝膜的稳定性测量中的应用(100)
机译:使用顺序表面反应在室温和100°C下电子增强结晶氮化镓薄膜的生长
机译:在Si(100)上的PEALD-生长的结晶ALN薄膜,尖锐的界面和良好的均匀性