micro inductors MEMS high Q-factor;
机译:基于CMOS-MEMS技术的高Q系数电感器的制造与表征
机译:片上螺旋电感器的新型Q因子增强技术及其在CMOS低噪声放大器设计中的应用
机译:使用CMOS-MEMS技术制造的带读出电路的乙醇微传感器
机译:高Q系数CMOS-MEMS电感器
机译:与基于线圈碳纳米管的电感器的表征和制造有关的问题。
机译:使用CMOS-MEMS技术制造的带读出电路的乙醇微传感器
机译:基于CmOs-mEms技术的高Q因子电感器的制备与表征