accelerometer design spring design analytical model;
机译:使用ASIC工艺实现CMOS / MEMS加速度计
机译:基于单个ASIC的MEMS设备的多用途驱动程序在低成本的HV CMOS过程中实现而无需三倍
机译:在晶圆级0.18μmCMOS MEMS工艺中实现单片电容式加速度计
机译:在1P6M ASIC兼容CMOS MEMS工艺上将2.4GHz射频发射器与加速度计集成在一起,用于移动传感应用
机译:具有漂移补偿的高动态范围CMOS-MEMS电容式加速度计阵列
机译:具有改进的电感器品质因数的稳健的全集成数字输出电感式CMOS-MEMS加速度计
机译:使用基于MEMS的压电加速度计连接到并行CMOS电路的数字输出加速度计