GIXRF layer thickness gate stack reference-free analysis ALD;
机译:掠入射X射线光谱法表征高k纳米层
机译:传统和掠入射条件下定量X射线荧光光谱法对埋藏纳米层的互补表征
机译:传统和掠入射条件下定量X射线荧光光谱法对埋藏纳米层的互补表征
机译:X射线光谱法表征高k纳米层在各种基底上的ALD生长行为
机译:用于半导体纳米术学和缺陷量化的胶带发射小角X射线散射(吉即)
机译:脂质模板化二氧化硅和混合薄膜中间相的表征掠入射小角X射线散射
机译:用放牧入射X射线光谱法表征高k纳米层