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【24h】

Using Grazing Incidence Small-Angle X-Ray Scattering (GISAXS) for Semiconductor Nanometrology and Defect Quantification

机译：用于半导体纳米术学和缺陷量化的胶带发射小角X射线散射（吉即）

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作者
Pflüger, Mika Hannes.;
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作者单位

Humboldt Universitaet zu Berlin (Germany).;

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授予单位 Humboldt Universitaet zu Berlin (Germany).;
学科
学位 Ph.D.
年度 2020
页码 144 p.
总页数 144
原文格式 PDF
正文语种 eng
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