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陈岩; 于杰; 陈广超; 程新红; 曹晓明; 张军旗; 宋贵宏; 刘德义; 苏革; 黄荣芳; 闻立时; 师昌绪;
中国科学院金属研究所;
化学气相生长; 金刚石; 温度场; 流场; 反应器; 薄膜;
机译:使用动力学蒙特卡洛模型和微波等离子体和热丝化学气相沉积反应器的二维模型模拟化学气相沉积金刚石膜的生长
机译:微波等离子体化学气相沉积和热丝化学气相沉积技术在硅衬底上生长金刚石薄膜的比较研究
机译:热丝化学气相沉积反应器中金刚石纳米颗粒的气相生成
机译:热丝化学气相沉积法在划痕的Si(100)衬底上生长的金刚石晶体的成核与生长机理研究
机译:热丝化学气相沉积系统中用于生长金刚石膜的表面改性技术的评估
机译:金刚石生长速率对热长丝化学气相沉积过程中甲烷浓度的不寻常依赖性
机译:热丝化学气相沉积对同质金刚石生长的氮和偏压效应
机译:热丝化学气相沉积金刚石生长机理:碳-13研究
机译:化学气相沉积反应器通过微波等离子体化学气相沉积生长金刚石膜
机译:通过气相化学沉积-CVD(化学气相沉积)的生长技术,用金刚石制造的任何形式,任何尺寸的任何材料的金属丝模
机译:热丝化学气相沉积法合成金刚石或类金刚石薄膜
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