Co-Cr合金膜的X射线线形分析

摘要

利用近似函数法对Co－Cr合金薄膜的衍射线线形进行分析，并提出用“三线法”确定衍射线的函数类型及其积分宽度，由此可计算薄膜的晶粒尺寸和微观应变。理论计算和实验表明，“三线法”结合近似函数法在线形分析方面是简便、可靠的。通过分析Co－Cr膜在不同工艺条件下（膜厚、Ar工作气体压强和负偏压）的衍射线线形，发现衍射线的物理展宽（即有效晶粒尺寸的减小）与晶粒取向度的下降是相对应的。晶粒取向度的下降与结构缺陷密度的增大有关。负偏压溅射时由于Ar原子残留在膜内引起晶格膨胀，从而使微观应变有较大增加。