O_2/Si(100)非重构表面相互作用过程的准经典轨迹研究

摘要

采用准经典轨迹计算方法对双原子分子O2与非重构Si（100）理想表面的散射过程进行了动力学研究。计算结果解释了氧分子与半导体表面相互作用中的能量传递机理，验证了前面工作所得到的LEPS半经验模型势的合理性。