磁性多层膜的X射线光电子能谱研究

于广华; 赵洪辰; 腾蛟; 柴春林; 朱逢吾; 夏洋; 柴淑敏

首页> 中文期刊> 《真空科学与技术学报》 >磁性多层膜的X射线光电子能谱研究

磁性多层膜的X射线光电子能谱研究

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

用射频 /直流磁控溅射法制备了NiOx/Ni81Fe19和Co/AlOx/Co磁性薄膜。利用X射线光电子能谱研究了NiOx 对Ni81Fe19耦合交换场Hex与NiOx 化学状态的关系以及Co/AlOx/Co磁性薄膜中AlOx 对Co膜的覆盖状况。结果表明 :Hex的大小只与 +2价镍有关 ,单质镍和 +3价镍对Hex没什么作用 ;在Co/AlOx/Co磁性薄膜中 ,Al层将Co膜完全覆盖所需要的最小厚度为 2 .0nm ,用角分辨XPS测出的Al氧化厚度为 1

著录项

来源
《真空科学与技术学报》 |2000年第5期|315-318|共4页
作者
于广华; 赵洪辰; 腾蛟; 柴春林; 朱逢吾; 夏洋; 柴淑敏;
展开▼
作者单位

北京科技大学材料物理系;

中国科学院微电子中心;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类磁性材料、铁氧体;薄膜测量与分析;
关键词
氧化铝; Ф射线光电子能谱; 氧化镍; 磁性多层膜;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. Ta/NiFe/Cu/NiFe/FeMn/Ta自旋阀多层膜的X射线光电子能谱的研究 [J] . 于广华 ,李明华 ,朱逢吾 . 真空电子技术 . 2003,第005期
2. 磁性隧道结热稳定性的x射线光电子能谱研究 [J] . 冯玉清 ,赵昆 ,朱涛 . 物理学报 . 2005,第011期
3. 软X射线多层膜及多层膜光栅的研究进展 [J] . 熊刚 ,刘文汉 ,吴自勤 . 物理 . 1999,第005期
4. 等离子体增强化学气相沉积法制备含氢类金刚石膜的紫外Raman光谱和X射线光电子能谱研究 [J] . 杨发展 ,沈丽如 ,王世庆 . 物理学报 . 2013,第001期
5. 镀锌三价铬钝化膜的x射线光电子能谱研究 [J] . 卢进 ,吴育忠 ,马冲 . 电镀与涂饰 . 2009,第004期
6. Ni70Co30/Cu磁性金属多层膜界面元素分布的X射线异常散射研究 [C] . 安玉凯 ,代波 ,麦振洪 . 北京同步辐射装置2005年学术年会暨学术委员会 . 2005
7. 磁性多层膜的磁性以及磁阻研究 [A] . 钱丽洁 . 2010

磁性多层膜的X射线光电子能谱研究

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅