YG6基体上沉积金刚石膜的形貌不均匀性

摘要

研究了CH4／H2、气体流量和基片温度对YG6基体上沉积金刚石膜形貌不均匀性的影响，分析了形貌不均匀现象产生的原因。认为该现象与微波等离子体中电子浓度的分布特点有关。