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吴魁;
中国科学院沈阳科学仪器研制中心;
极高真空; 潘宁放电; 抽束曲线; 溅射离子泵;
机译:史诗在溅射离子泵控制系统中的应用及CSRE真空控制系统改造
机译:降低溅射离子泵真空腔中杂散电流的高效挡板
机译:扩大了真空泵的产品阵容,广泛适用于从低真空到极高真空
机译:用于CERN溅射离子泵控制器的新Profibus-DP接口
机译:直流高真空磁控溅射沉积金属纳米粒子对滤料的水净化和抗菌作用。
机译:新型溅射镀膜系统直接沉积的薄膜应变计的研制表征和高温适应性
机译:用于G-2梁真空系统分布式离子泵的研制
机译:通过溅射离子泵泵送氢气和氦气。修订版3/93
机译:极高真空双电池离子泵的研制
机译:极高真空离子泵的研制
机译:极高真空排气系统,疏散方法和溅射离子泵
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