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新型多弧离子镀膜机自动控制系统

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利用工控机(IIC)和PLC研制成了新型多弧离子镀膜机自动控制系统,该控制系统可以实现镀膜工艺过程的自动控制.工控机设定技术参数后进入监控状态,实时监测控制PLC的工作状态;PLC控制现场设备的运行,并将现场各泵阀等设备的工作状态传给工控机.系统可靠性高,人机交互好,实现了多弧离子镀膜的自动控制.

著录项

来源
《真空电子技术》 |2005年第5期|19-23|共5页
作者
冯占英; 曹文鹏; 周正干; 刘琭凌;
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作者单位

北京航空航天大学,机械工程及自动化学院,北京,100083;

天津军事交通学院,天津,300161;

北京航空航天大学,机械工程及自动化学院,北京,100083;

北京航空航天大学,机械工程及自动化学院,北京,100083;

北京博世金信科技有限公司,北京,100085;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类自动化系统;
关键词
镀膜机; PLC; 工控机; 协议宏;

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