太赫兹微型电真空器件及其制造工艺

摘要

随着科学技术发展,人类对电磁频谱的掌握与应用也在不断发展,继毫米波波段开发的日益成熟之后,科学界已开始了向太赫兹领域进军.太赫兹电真空器件可以产生高功率太赫兹辐射真空电子器件,在太赫兹辐射源方面可做出很重要的贡献.本文介绍了国内外几种大力发展的太赫兹真空电子器件的研究技术水平及发展方向;重点分析了太赫兹电真空制造工艺的特点和关键技术.%This paper introduces the technical progress and direction of several kinds of terahertz vacuum electronic devices. The characteristics and key technologies of terahertz vacuum electronic device fabrication are mainly analyzed.