TiN/H-DLC薄膜的制备及其性能研究

摘要

为了探究用复合技术制备的DLC复合薄膜的力学性能和耐腐蚀性能,采用多弧离子镀(MAIP)和非平衡磁控溅射技术(UBMS)分别在316L不锈钢基底上沉积了H-DLC、TiN和TiN/H-DLC薄膜.采用三维轮廓仪、扫描电镜以及拉曼光谱分析薄膜的形貌和微观结构,采用纳米压痕仪、划痕仪、CSM摩擦试验机和电化学工作站表征了薄膜的纳米硬度、膜基结合力、摩擦学性能和耐腐蚀性能.结果表明,用多弧离子镀引入TiN层能够有效提高TiN/H-DLC复合薄膜的结合力并降低摩擦因数,但是薄膜的磨损率未明显降低,其原因可能是表面粗糙度的影响;H-DLC薄膜表面较为致密,在3.5％NaCl溶液中具有较好的耐腐蚀性能.复合制备技术可改善TiN/H-DLC薄膜的力学性能和特定环境下的耐腐蚀性能.