四极质谱计定量分析的研究

摘要

一般认为，用作真空残气分析的四极质谱计是很难进行定理分析的，通过对四极质谱计测量过程的理论分析，指出了用四极质谱计获得可靠的定量结果的条件及由此产生的分析方法和限制因素。重点分析了四极质谱计的和生、线性?灵敏度、分辨本领。同时指出了实现四极质谱计定量分析可能的努力方向。