基于四极质谱计的真空材料放气率测试方法研究

摘要

在实际工程应用中,除了需要知道真空材料的总放气率之外,往往还关心的是材料放出的某种单一气体的放气率.为此,本文提出了基于四极质谱计的真空材料放气率测试方法,通过采用四极质谱计测量小孔两端的分压力来计算单一气体的放气率.基于该方法设计了测试装置,主要由真空抽气系统、双通道气路转换测试系统、压力测量与质谱分析系统三部分组成.该方法的提出可以解决测试材料单一气体放气率的问题,同时也提高了测试结果的准确性,其测量不确定度预估为5.0%.