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TiO2薄膜结构的研究

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摘要

研究了沉积温度和退火温度对TiO2薄膜结构的影响.当沉积温度在110～250℃时,薄膜结构为无定型,350～500℃时为锐钛型,600℃以上是金红石;当退火温度在600℃时,TiO2薄膜为锐钛型;800℃以上是金红石.氧气的加入能够影响薄膜的沉积速率,但不影响薄膜的晶体结构.

著录项

来源
《真空与低温》|2001年第2期|81-84|共4页
作者
武正簧; 吴争鸣; 李文军;
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作者单位

太原理工大学,化学工程与技术学院,山西,太原,030024;

太原理工大学,化学工程与技术学院,山西,太原,030024;

太原理工大学,化学工程与技术学院,山西,太原,030024;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类非金属复合材料;薄膜的生长、结构和外延;真空技术的应用;
关键词
二氧化钛; 薄膜; 晶体结构;
入库时间 2022-08-17 16:53:49

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