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DN900LN2型低温泵的研制

             

摘要

One LN2 cryopump with 900 mm internal diameter is described in this paper,which is applied to environmental simulation equipment,and pumping speed for N2 is over 30 000 L/s.The cryopump can achieve the vacuum according to cryogenic condensation and cryogenic adsorption process by using circulating liquid nitrogen,and working together with GM cryocooler to supply cooling capacity commonly.This paper mostly discusses the operating principle,the structure design,the heat load calculation and the specification testing.It can provide the references of design ideas and computing methods for big caliber cryopump.%介绍了一种应用于环模装置的DN900LN2型低温泵的研制情况,该低温泵是利用循环液氮配合GM低温制冷机共同提供冷量来进行低温冷凝和低温吸附达到抽真空目的,其口径为900 mm,对N2抽速大于30 000 L/s.文中详细论述了其结构及工作原理、吸附阵和液氮冷屏的具体设计及计算、热负荷计算等,并给出了性能测试方法及测试结果.该文的研究为大口径低温泵的研制提供了设计思路和计算方法参考.

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