低温泵

摘要： 随着化工行业的发展,化工产品的生产流程也趋向高标准、严要求,伴随而来的是加工设备与加工工艺的优化升级,这使得传统接触式湿式密封很难保证精品化工产品的生产需求,相对于接触式湿式密封,气体润滑的干气密封具有对工艺介质零污染,工艺介质对大气零泄漏的特点,运转周期长、操作简便,同时也符合目前行业内的绿色化工的发展理念。

摘要： 中国聚变工程试验堆(CFETR)是中国下一代全超导托卡马克装置,低温泵因其抽速大且能获得清洁无油高真空环境的特点被选为主真空室抽气设备。针对低温泵因故障而导致整个堆停运的问题,提出一种全新的双阀门结构低温泵设计方案。新设计主要包含双阀门泵体设计、可分离前阀门设计及密封部件设计,并对新设计关键部件密封推杆和前阀门进行了受力分析,模拟结果初步验证了设计方案的可行性。

摘要： 天然气深冷处理后获得的凝液要经过脱乙烷塔回流闪蒸,才能获得相对稳定的混合轻烃产品,而脱乙烷塔回流混合轻烃的低温泵,受其回流介质的低温挥发特性影响,运行效果不佳是普遍现象.可采取的方法是增加一具深冷膨胀机后的第二低温分离器,和原装置中的第二低温分离器交替运行,当一具第二低温分离器在正常进行气液分离时,另外一具第二低温分离器和主系统流程切断,用开关自动阀的方式加压,将上一运行周期中的分离器积液匀速地压排到脱乙烷塔中,这样两个第二低温分离器交替加压运行,实现了用静态容器分离器代替运转设备低温泵,将二低分的混合轻烃回流到脱乙烷塔的效果.在对一套深冷装置改造后,经过一段时间现场运行,深冷系统正常运行时间由改造前的每周运行时间不足120 h提高到一周不间断运行,混合轻烃产量从每天不足5 t提高到10 t左右.

摘要： 低温泵在运行过程中,其传输介质具有易燃易爆、低温、气化等特点.文章简要介绍了低温泵的操作特点,并针对乙烯装置低温泵操作问题展开一系列探讨,指出乙烯装置低温泵在操作中存在的问题以及相应的注意事项.

摘要： LNG作为清洁燃料,应用范围越来越广,在LNG整个产业链中都需要的LNG低温泵在国内处于刚刚起步状态,本文对LNG低温泵的特点、研制难点及发展方向进行了论述.

摘要： 利用建立的串级精馏实验装置,针对精馏塔间进出料时进出口压力要求、预算成本控制等具体问题提出用低温泵代替气体循环泵实现串级精馏塔物料正常运转.基于设计的低温泵装置提出了一种PLC控制方法并建立系统应用于现场装置.该系统以PLC为主控制器完成了常规信号采集和多个温度PID控制、压力PID控制,流量RS485串口通讯、上位机Modbus TCP通讯等.低温泵控制系统操作界面友好、简单,可移植性强.通过实验运行表明该系统运行稳定、可靠,满足工艺要求.

摘要： 为了研究低温泵内的空化流动对泵效率的影响,采用SST k-ω湍流模型和Zwart空化模型对泵内空化流动进行数值模拟分析.结果表明:随着泵入口压力不断降低,叶轮入口处空泡越来越明显;空泡较明显的叶轮流道出口处形成较集中的高温区;当泵入口压力较高时,不同介质温度的泵效率均略有下降且斜率相近;当泵入口压力较低时,不同温度下液氮对应的泵效率曲线斜率有一定差异,温度越高,效率下降越快.这些研究的发现可以为低温泵性能的改善提供一定的参考.

摘要： 介绍半导体真空设备使用的常见真空泵,归纳总结几种典型的真空泵常见故障原因和处理办法.

摘要： 选择叶轮进口直径、叶片进口安放角和叶片数为影响因素,设计 3 因素 3 水平正交试验方案,运用计算流体力学软件CFX对各模型低温泵进行数值模拟计算,研究不同叶轮参数对低温液氮输送泵汽蚀特性的影响.通过极差分析法确定了改善低温泵空化性能的最佳叶轮参数组合,对优化模型和原模型数值计算结果进行了对比,探究了叶轮空化初生和发展的规律,验证了正交试验优化方案的可行性.研究结果表明,叶轮参数对低温泵空化性能影响显著,在3 个因素当中叶片进口安放角的影响最大,优化后的低温泵临界汽蚀余量变小,空化区域减小,整体空化性能改善明显,为低温泵的优化设计提供了参考.%In order to study the effect of different impeller parameters on cavitation performance of liquid nitrogen cryo pump,three-level under three-factor orthogonal test schemes for impeller inlet diameter,blade inlet angle and blade number were designed.Numerical simulation software CFX was used to simulate the flow in the model pumps.The best combination of impeller param-eters to improve the cavitation performance of cryo pump was found by the range analysis.The rules of the initial growth and development of cavitation in the impeller were studied by compa-ring the numerical results between the optimization model and the original model.The feasibility of orthogonal test scheme optimization was verified.The results show that the impeller parame-ters,especially the blade inlet angle,have significant influence on the cavitation performance of cryo pump.The critical cavitation allowance of cryo pump decreases,the cavitation area dimini- shes,and the overall cavitation performance improves obviously after optimization.The research results provide a reference for the optimization design of cryo pump.

摘要： 由于分子泵对氦气有较大抽速,因此在真空检漏系统中通常用分子泵作为主泵,但当检漏容器很大时需要大量分子泵.低温泵具有清洁无油、抽速大的优点,如果在检漏系统中能够采用低温泵作为主泵,可以大大减少真空泵数量.本文对以低温泵为主泵的真空检漏系统进行了实验研究,并对实验现象进行了分析.研究结果表明,低温泵可以有效提高检漏系统的工作真空度,对检漏系统的有效灵敏度影响很小,但以低温泵为主泵的检漏系统的反应时间比以分子泵为主泵的检漏系统反应时间长.

摘要： 本文以实例介绍了低温泵在超高真空炉中的应用;重点介绍了低温泵真空系统的设计思路,真空系统的主要配置和注意事项,低温泵的选型计算,并用图示方法介绍了低温泵系统的安装、使用和维护等环节.

摘要： 低温泵是利用封闭循环制冷机制造低温，并利用低温表面冷凝、吸附和捕集气体来获得和保持真空的设备。由于低温泵极限真空度高、抽速大、清洁、能耗低等一些优点,目前已广泛在各工业领域中.本文简要介绍了低温泵的极限压力、对各种气体的抽气速率、热负荷、最大抽气流量、抽气容量主要性能参数及结构尺寸的理论设计,并根据现有经验对低温泵进行了抽速测试，最大抽气流量测试，抽气容量测试的试验验证.低温泵包括低温和真空两大部分，应综合考虑极限压力、抽速、抽气流量、抽气容量、再生时间、降温时间、材料性能、制冷机功率等方面的要求。

摘要： 低温泵是利用低温吸附而达到获取真空的装置.与其他真空获取设备相比,其具有无油、低振动等优势.活性炭是低温泵常用的一种吸附剂,其对低温泵的工作性能起着关键性的作用.根据真空度的需求,一般要求低温泵对氢的抽速较大.这就需要适合于氢的吸附的活性炭.椰壳活性炭的孔隙大小对氢的吸附比较适合.本文首先对活性炭进行了预处理,用扫描电子显微镜和低温吸附仪对其结构和吸附性能进行了表征.并将其用于低温泵的吸附镇,发现安装了经过处理活性炭的低温泵其抽气速率和极限真空都有一定的提高.

摘要： 本文通过对低温泵的原理进行阐述,重点介绍了低温泵与扩散泵、分子泵在真空镀膜设备上应用的优势,以及其应用的一些典型应用案例,从而证实了低温泵在真空镀膜领域应用的可行性,以及实现真空镀膜行业内扩散泵及分子泵的改造升级的必要性.

摘要： KM3设备是一个容积为70m的大型空间模拟器。1993年将原来用油扩散泵作为主抽气泵的有油抽气系统改造成为用制冷机低温泵作主抽气泵的无油抽气系统，并将系统的极限真空由9.3×10Pa提高了5×10Pa。该文重点介绍了该设备所用的通径为800mm的制冷机低温泵的方案选择及主要性能计处方法，并给出了主要参娄的实测结果。

摘要： 针对两套相同的空分设备开车调试时其中一套出现液氮纯度不合格的故障现象,从主冷、下塔、液氮泵查找、分析原因,是由液氮泵的密封气污染液氮后回流至下塔所致,采取措施并提出相应的建议.

摘要： 吉林石化公司有机合成厂乙烯车间为提升球罐乙烯压力到4．0MPa,先后装配了三台乙烯升压泵。在起初装配使用过程中出现了机械密封泄露频率高、乙烯气化成份多等问题,乙烯车间针对相应问题,提出了更新机械密封设计、完善管道设计等措施,同时严格执行试运前干燥、预冷等规定,保证了升压系统的正常运行。

摘要： 真空系统是真空镀膜设备的主要组成部分,其主泵的选择对真空性能影响很大,真空镀膜设备的发展要求真空性能清洁无油,动态抽速大.传统的以油扩散泵为主泵的设备不能满足要求,本文叙述了油扩散泵、分子泵及低温泵的特点及北京北仪创新真空技术有限责任公司开发以分子泵及低温泵为真空系统主泵的镀膜设备情况.

摘要： 真空获得设备是一个量大面广的产品,产量很大,产值不高,但它确实是一个影响到真空成套设备性能质量的必不可少的基础产品.真空获得设备从粗、低真空到超高真空,其产品大致可分成14大类:高/超高真空--分子泵、低温泵、溅射离子泵、钛升华泵、油扩散泵中真空--干泵、双级旋片泵、罗茨泵、油增压泵、水蒸汽喷射泵粗、低真空--单级旋片泵、滑阀泵、液环泵、往复式真空泵我国的真空工业自从1934年在上海诞生第一台往复式真空泵以来,已有70年的历史.本文主要讨论：一、我国真空获得设备的现状.二、真空获得技术所面临的挑战.三、全球真空泵市场形势和发展趋势.四、我国真空获得设备的发展方向。

摘要： 本发明的低温泵(10)具备低温板(60)及设置于低温板(60)并且能够吸附不凝性气体的吸附区域(64)。吸附区域(64)具备不燃性吸附材料，该不燃性吸附材料含有硅胶作为主要成分。低温泵(10)的再生方法具备如下步骤：向低温泵(10)供给吹扫气体；在低温板温度超过水的三相点温度之前停止向向低温泵(10)供给吹扫气体；在停止供给吹扫气体的同时，或者在停止供给之后，开始低温泵(10)的真空排气；使冷凝于低温泵(10)内的冰通过升华而气化；及根据低温泵(10)内的压力及压力上升率中的至少一个停止低温泵(10)的真空排气。

摘要： 本发明提供一种低温泵系统、低温泵控制装置及低温泵再生方法，其课题在于缩短低温泵的再生时间。本发明的低温泵系统具备：低温泵(10)；及再生控制部(102)，根据包括排出处理的再生顺序控制低温泵(10)，所述排出处理为从低温泵(10)排出冷凝物的排出处理，在所述排出处理中执行低温泵(10)的粗抽。再生控制部(102)具备：压力下降率运算部(114)，运算出低温泵(10)粗抽中的低温泵(10)内的压力下降率；及压力下降率监视部(116)，检测出粗抽中的压力下降率的缩小。

摘要： 本发明提供一种低温泵系统、低温泵控制装置及低温泵再生方法，其课题在于缩短低温泵的再生时间。本发明的低温泵控制部(100)具备再生控制部，该再生控制部根据再生顺序来控制低温泵(10)，再生顺序中包括排出处理，在排出处理中从低温泵(10)排出冷凝物，并且排出处理持续进行至满足基于低温泵(10)内的压力的排出结束条件。再生控制部具备：第1判定部，反复判定是否满足排出结束条件；第2判定部，判定排出结束条件的判定次数或排出处理的持续时间是否为第1阈值以上；及温度控制部，当排出结束条件的判定次数或排出处理的持续时间为第1阈值以上时，执行低温泵(10)的预冷。第1判定部在预冷中再次判定是否满足排出结束条件。

摘要： 本发明提供一种低温泵、低温泵的再生方法及低温泵的控制装置，其具备以有助于升温时间的缩短化的方式配置的少量温度传感器。低温泵（10）具备：1级板（20），其通过制冷机（16）的1级冷却台（22）冷却；2级板（18），其通过制冷机的2级冷却台（24）冷却；板温度传感器（94、96），其设置于1级板及2级板中的至少一方；冷却台温度传感器（90、92），其设置于1级冷却台及2级冷却台中的至少一方；及控制部（100），其控制基于冷却台温度传感器的测定温度的真空排气。控制部控制包含低温板的升温工序的再生，且专门在再生中使用板温度传感器的测定温度。控制部基于板温度传感器的测定温度来完成升温工序。

摘要： 本发明提供一种低温泵、低温泵单元、包括低温泵单元的真空处理设备以及低温泵再生方法，该低温泵再生方法，其包括升高低温板的温度以使冷凝在低温板的排气表面上的气体分子蒸发的升温步骤、抽空泵容器的抽空步骤、确定泵容器的内部压力是否已经达到比0°C的水蒸汽压力高的设定压力的确定步骤、停止抽空并执行压力升高测试的压力升高测试步骤、以及基于泵容器的内部压力观测残留水分的观测步骤。

摘要： 本发明的低温泵(10)具备：不燃性吸附材料(64)；及控制器(100)，所述控制器为了开始低温泵(10)的真空排气运转依次执行如下步骤：通过使不燃性吸附材料(64)在室温或比其更高的温度下暴露于干燥环境，使不燃性吸附材料(64)脱水；不燃性吸附材料(64)的脱水之后，对不燃性吸附材料(64)的周围环境进行真空排气；及在真空环境下将不燃性吸附材料(64)冷却至超低温。

摘要： 本发明提供一种低温泵、低温泵控制装置及低温泵控制方法。本发明的课题在于缩短低温泵的冷却时间。低温泵(10)具备：一级目标温度选择部(112)，其具备使一级低温板的温度及二级低温板的温度保持在超低温区域的通常模式用的通常目标温度和使一级低温板及二级低温板从室温冷却至超低温区域的降温模式用的降温目标温度，并且降温目标温度低于通常目标温度，一级目标温度选择部(112)在当前运行模式为通常模式时选择通常目标温度作为一级目标温度，在当前运行模式为降温模式时选择所述降温目标温度并将其至少暂时作为一级目标温度；及一级温度控制部(114)，其根据所选择的一级目标温度来控制一级低温板温度。

摘要： 本发明的低温泵(10)具备低温板(60)及设置于低温板(60)并且能够吸附不凝性气体的吸附区域(64)。吸附区域(64)具备不燃性吸附材料，该不燃性吸附材料含有硅胶作为主要成分。低温泵(10)的再生方法具备如下步骤：向低温泵(10)供给吹扫气体；在低温板温度超过水的三相点温度之前停止向向低温泵(10)供给吹扫气体；在停止供给吹扫气体的同时，或者在停止供给之后，开始低温泵(10)的真空排气；使冷凝于低温泵(10)内的冰通过升华而气化；及根据低温泵(10)内的压力及压力上升率中的至少一个停止低温泵(10)的真空排气。

摘要： 本发明提供一种低温泵、低温泵控制装置及低温泵控制方法。本发明的课题在于缩短低温泵的冷却时间。低温泵(10)具备：一级目标温度选择部(112)，其具备使一级低温板的温度及二级低温板的温度保持在超低温区域的通常模式用的通常目标温度和使一级低温板及二级低温板从室温冷却至超低温区域的降温模式用的降温目标温度，并且降温目标温度低于通常目标温度，一级目标温度选择部(112)在当前运行模式为通常模式时选择通常目标温度作为一级目标温度，在当前运行模式为降温模式时选择所述降温目标温度并将其至少暂时作为一级目标温度；及一级温度控制部(114)，其根据所选择的一级目标温度来控制一级低温板温度。

摘要： 本发明提供一种低温泵系统、低温泵控制装置及低温泵再生方法，其课题在于缩短低温泵的再生时间。本发明的低温泵控制部(100)具备再生控制部，该再生控制部根据再生顺序来控制低温泵(10)，再生顺序中包括排出处理，在排出处理中从低温泵(10)排出冷凝物，并且排出处理持续进行至满足基于低温泵(10)内的压力的排出结束条件。再生控制部具备：第1判定部，反复判定是否满足排出结束条件；第2判定部，判定排出结束条件的判定次数或排出处理的持续时间是否为第1阈值以上；及温度控制部，当排出结束条件的判定次数或排出处理的持续时间为第1阈值以上时，执行低温泵(10)的预冷。第1判定部在预冷中再次判定是否满足排出结束条件。