新型MEMS压力传感器的设计与制造

摘要

对柔性压力传感器进行了设计和研究,总体结构为三明治结构:由于介质层的结构比较特殊,选择了复眼微结构的设计方式,电极层在改性后的PDMS表面溅射一层金属银。将制备的三层结构通过键合的方式组成响应速度和灵敏度均较高的传感器。通过对传感器进行的测试实验可得:当传感器表面压力一定时,复眼结构的电容式压力传感器的灵敏度达到了0.28 kPa^(-1),响应时间和恢复时间分别为58 ms和43 ms,表明制造的传感器具有较快的响应速度。经1600次的撞击试验,传感器仍保持稳定输出。制备的传感器具有较强的响应特性、良好的恢复性和稳定性,能够适应柔性可穿戴电子器件的应用需求。