不锈钢压力传感器芯体研制

摘要

cqvip:设计了基于硅应变片的不锈钢压力传感器芯体,作为压力敏感单元的不锈钢基体是基于机械加工工艺的一体结构,无焊缝,无橡胶圈,完全无工作介质泄露风险,同时利用高灵敏度的硅应变片将不锈钢敏感单元形变转换为电信号。通过搭建的测试系统,传感器芯体输出线性度最优达到0. 32%左右,性能指标优良。本传感器芯体经组装成为压力传感器,可以广泛应用于汽车电子和工业电子等各种场合,包括各种不锈钢兼容的腐蚀性介质环境。