基于MEMS技术的人造视网膜传感器系统设计

摘要

电刺激视网膜相关组织是现阶段治疗视网膜色素变性和黄斑病变的一种新途径.运用微加工技术,通过人造视网膜传感芯片替代受损的视网膜细胞恢复视觉是可行的,植入芯片具有微型化、柔性化及生物兼容性等特点.通过模拟仿真实验验证,设计了一种新型的视网膜传感芯片,给出了该芯片的材料选择、工艺过程及最终的结构参数.选择Polyimide作为芯片衬底及绝缘材料,Parylene-C作为芯片封装保护材料,金作为电极和引线材料.