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唐发俊; 赵扬; 黄钦; 王楠;
中国电子科技集团公司第四十六研究所半导体材料硅外延部 天津 300220;
广东省半导体产业技术研究院 广东广州 510615;
硅外延炉; 电磁感应加热; 辐照加热; 单片式硅外延炉;
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