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柳襄怀; 邹世昌;
不详;
离子束; 薄膜; 材料; 沉积;
机译:脉冲激光沉积和离子束增强沉积的AlN薄膜在SOI应用中的比较
机译:离子束辅助沉积在掺Er薄膜合成中的应用
机译:O_2压力对离子束增强沉积合成氧化钛薄膜的影响。
机译:离子束辅助薄膜沉积技术在生物危害性检测应用中具有现场电位的生物传感器芯片制造中的应用
机译:微波等离子体在硼-碳-氮三元体系中合成薄膜增强了化学气相沉积。
机译:等离子体增强化学气相沉积系统合成高c轴ZnO薄膜及其紫外光探测器的应用
机译:离子束特殊问题/表面改性和材料钝化。通过离子束增强沉积合成陶瓷薄膜。
机译:离子束溅射沉积高(Tc)超导薄膜的离子散射和溅射工艺研究:沉积参数的优化。
机译:材料表面的高速率处理,特别是在光学应用,微电子学或微系统中,包括使用等离子束源
机译:离子束增强的原子和分子层沉积法制备薄膜及其选择性构图
机译:使用氨基磺酸镍前驱体对各种应用中的含镍薄膜进行等离子体增强沉积
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