Love模声表面波传感器特性研究

摘要

文章利用有限元软件设计出Love模声表面传感器.采用三维有限元方法模拟了声表面波在IDT/ZnO/SiO2/金刚石和IDT/AlN/SiO2/金刚石结构的传播特性.通过模态分析证明传感器激励的声表面波是乐甫波;通过对两种结构乐甫波的相速度,机电耦合系数和频率温度系数分析,设计出了两种结构的最优参数.文章创新性的将金刚石作为器件衬底,并在压电薄膜和金刚石衬底之间引入SiO2层,器件的温度特性得到了极大的改善,且伴随有高的机电耦合系数,为Love模SAW在液体高灵敏度传感器中的应用打下基础.