Love型声表面波反射系数的理论研究

摘要

利用分层介质理论,精确求解了压电基片、金属膜和覆盖层中的声波传播特性,计算出Love型声表面波传播速度和机电耦合系数.结合变分原理和耦合模理论,分析了短路栅阵中声表面波的传播特性,得到了有覆盖层的声表面波器件的反射系数计算公式,计算了在ST-90°X基片上覆盖SU8波导层的铝电极栅阵的耦合模模型参量.为进一步优化设计低损耗、高灵敏度及温度稳定性优良的Love型声表面波器件提供理论基础.