半导体厂房气体检测系统设计选型探讨

摘要

本文简要的介绍了目前国内半导体厂可燃及有毒气体系统设置的现状、气体检测器的分类、气体检测器的主要检测原理及其优缺点的比较。通过笔者的相关项目经验，探讨了可燃及有毒探测器的检测原理的选型以及设置规划，并简要的提出了个人的一些心得，以作为设置气体检测器系统时的参考。