固结磨粒金刚石线锯专利技术发展研究与分析

摘要

固结磨粒线锯作为一种近年来发展较新的精密高效加工工具，在大尺寸硅片切割上体现着优越的性能。本文针对固结磨粒金刚石线锯的国内外专利申请量进行了研究，分析了固结磨粒金刚石线锯领域的专利申请发展趋势、技术分支。