浅谈多晶硅原料处理过程中质量控制的几点措施

摘要

多晶硅质量受多方面因素影响，本文结合生产实际，分别从提高原料纯度，加强分析手段、控制生产过程中的温度、合理选择混合气配比、保持设备洁净、强化精馏效果、提高质检工作人员业务素质和质量意识等方面进行了分析，以逐步提高多晶硅质量。