西门子法多晶硅生产中的质量控制难点及措施

摘要

西门子法冷氢化工艺日趋完善和成熟，各规模企业在实际生产中对生产高质量的多晶硅也有了较多的经验和总结，这对我国未来多晶硅行业的发展奠定了坚实基础。本文主要针对多晶硅生产中的质量控制提出新的思路，通过生产过程的质量控制，实现稳定高质量的多晶硅生产。