螺旋波等离子体及其金属材料表面清洗综述

摘要

随着工业技术的发展,等离子体已被广泛应用于微细加工的离子束刻蚀技术、等离子体材料表面改性技术、等离子束材料表面镀膜技术以及螺旋波等离子体推进器等领域,因此,等离子体对每个相关领域的进一步发展具有重大影响.介绍了螺旋波等离子体中带电介质单色平面波的色散关系、螺旋波等离子体的产生机制及特性,探究了影响等离子体密度的相关因素,分析了螺旋波等离子中电子、离子和自由基在金属材料表面清洗过程中的作用,对比了辉光放电等离子体与大气压射流等离子体清洗.