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旋转体自身驱动的硅微机械陀螺

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摘要

报道了一种利用旋转体自身角速度作为驱动力,通过各向异性刻蚀硅片制作的硅微机械陀螺.介绍了该陀螺敏感结构(硅摆)的设计、制作与封装工艺,用仿真器测试了旋转体的角速率.模拟试验和性能测试表明,该陀螺结构原理正确,可用于敏感旋转体的偏航或俯仰角速度,以及旋转体自身的角速度.

著录项

来源
《中国工程科学》|2006年第8期|23-27|共5页
作者
张福学; 毛旭; 张伟;
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作者单位

北京信息工程学院传感技术研究中心,北京,100101;

北京信息工程学院传感技术研究中心,北京,100101;

北京信息工程学院传感技术研究中心,北京,100101;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212.1;
关键词
硅; 各向异性腐蚀; 角速度; 仿真器;
入库时间 2022-08-17 16:49:04

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