飞秒激光微加工Au膜

摘要

飞秒激光微加工薄膜对于MEMS设备的制造是一个急需的技术.文章使用波长为775 nm的Ti:sapphire飞秒激光器(脉宽约为130 fs,频率为1 000 Hz)研究厚度为4μm的Au薄膜,在不同加工参数下的结构特性,发现单脉冲消融时消融直径随着脉冲能量的增大而增大.当单脉冲能量一定时,消融直径随着脉冲的个数变化不大.计算得到Au膜的单脉冲消融阚值为F