子孔径拼接检测方法的目标函数优化

摘要

子孔径拼接检测技术是一种利用小口径干涉仪实现对大口径光学系统检测的有效方法.在子孔径拼接算法中,需要对子孔径重叠区域的采样数据进行最小二乘拟合,得到各孔径的相对误差,从而将它们统一到同一参考面上,完成拼接.最小二乘拟合目标函数的优劣将直接影响拼接精度的高低.文章利用光学仿真软件,提取对误差敏感的Zernike多项式的项,并推导得到具有较高精度的目标函数,通过仿真计算验证了该目标函数能满足高精度子孔径拼接的要求.