大口径平面光学元件面形的子孔径拼接检测方法

摘要

本发明提出了一种大口径平面光学元件面形的子孔径拼接检测技术及装置。使用该技术测量光学元件时，基本器件包括多个针孔摄像机，平面光学元件，显示器组成。在显示器上显示一系列正弦编码的周期变化的条纹图，经过被测面反射后被多个针孔相机同时采集。为避免后表面反射光的干扰，使用谱估计算法计算反射光线在显示器平面的坐标，并引入一个光线追迹求参考坐标面为参照的方法来实现参考面和被测面的精确复位，从而扣除测试系统系统误差。多相机得到的斜率数据采用子孔径拼接算法得到被测全孔径上的斜率分布，进而积分得到大口径平面光学元件面形分布。设计的测试装置结构简单，抗震能力好，测试精度高，能为大口径平面光学元件在线检测提供一种新思路。