2020年中国光伏技术发展报告——晶体硅太阳电池研究进展(7)

摘要

cqvip:2019年,HJT电池产业界出现了一种新型的TCO膜材料,称为SCOT^[30],其成分比例为In_(2)O_(3):ZrO_(2):TiO_(2):Ga_(2)O_(3)=98.5:0.5:0.5:0.5。这是一种可以制备成磁控溅射旋转陶瓷靶的接近IWO的材料,由于其可以制备成高In含量的靶材,因此导电性较好,但针对这种靶材的一些细节并未报道太多。