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反应离子刻蚀法制绒在单晶硅太阳电池上的应用

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摘要

研究了在预制绒基片上进行RIE织构化处理,得到的硅片表面具有很好的陷光效果,平均反射率仅为6％左右.通过热氧化法改善表面损伤,发现在温度900℃下,氧化膜厚度为40nm时,可得到较高的有效少子寿命,由此制得电池的内量子效率(IQE)、短路电流密度均有提高.

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来源
《太阳能》|2012年第19期|22-25|共4页
作者
严婷婷; 凌俊; 杨健; 陈如龙; 张光春;
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作者单位

无锡尚德太阳能电力有限公司;

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正文语种 chi
中图分类
关键词
反应离子刻蚀; 单晶硅太阳电池; 绒面; 短路电流密度;

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