气相二氧化硅在CMP中的应用

摘要

气相二氧化硅是利用卤硅烷经氢氧焰高温水解制得的一种无定形二氧化硅产品，该产品的原生粒径在7-40nm之间，产品纯度高，SiO2含量不小于99．8％，是一种极其重要的无机纳米粉体材料。气相二氧化硅由于其优越的稳定性、补强性、增稠性和触变性而在橡胶、塑料、电子、涂料、胶粘剂和密封剂等领域得到广泛的应用。虽然气相二氧化硅的工业化生产可以追溯到上世纪四十年代，但是其核心技术主要掌握在德国、美国、日本和前苏联(乌克兰)等国家，其中德国、美国和日本控制着全球气相二氧化硅90％以上的市场。我国气相二氧化硅的生产起步于上世纪六十年代，只有沈阳化工股份有限公司生产，