在国产抛光机上改善硅抛光片TTV值的工艺探索

摘要

本文介绍了用国产有蜡抛光机生产加工抛光片时，对改善硅片ＴＴＶ值的工艺探索，并指出影响硅抛光片ＴＴＶ值和ＴＩＲ值的重要因素－抛光片载体，对其进行经常性质量检验与修正的必要性。