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郑雪英; 吴保芳;
不详;
抛光; N/N片; 铝片; 半导体器件;
机译:复合锥管扩口和扩口工艺在圆锥工具中的应用
机译:铝磁盘基板超高压/超高速抛光的抛光寿命检查(第二次报告):抛光表面结构对超高压/高速抛光的抛光寿命的影响
机译:用于III-V晶圆键合应用的化学机械抛光:抛光,粗糙度和无磨料抛光模型
机译:精密抛光动力学:工艺振动对抛光结果的影响。
机译:高效抛光超光滑表面的新型圆盘流体动力抛光工艺和工具
机译:铝(碱性法)电解抛光(第七报告)电解抛光对溶解度效应的研究(电解抛光8日报告研究)
机译:高品质光学抛光铝镜和生产工艺
机译:扩片元件,扩片中心,用于分裂扁平材料轨道的装置,用于横向扩展扁平材料轨道的扩展辊,用于扩展扁平材料轨道的方法以及用于处置扁平材料轨道的装置
机译:晶圆抛光模板,用于在无蜡抛光工艺中抛光半导体晶圆
机译:无蜡抛光方法和无蜡抛光吸盘
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