四甲基氢氧化铵的制备与检测

摘要

介绍了四甲基氢氧化铵的制备与检测方法。四甲基氢氧化铵的制备主要采用电解的方法,电解的原料有四甲基氯化铵和四甲基碳酸氢铵,两种原料在制备四甲基氢氧化铵的过程中各有优缺点,提纯原料的过程中也采用了不同的理念。四甲基氢氧化铵的检测项目主要是根据四甲基氢氧化铵的应用场合并结合具体的应用工艺,对所确定的检测指标及确认的数值范围进行检测。四甲基氢氧化铵主要用于正性光刻胶的显影。四甲基氢氧化铵在正性光刻胶显影的过程中,需要对表面张力进行精准控制。随着半导体制造工艺的提升,线宽逐渐降低,对显影液的纯度要求也越来越高。