大中型精密钢球专用电动轮廓仪的设计

摘要

该文介绍一种适用于大中型精密钢球表面粗糙度测量的电动轮廓仪的工作原理和设计方案.仪器根据M制轮廓针描法原理进行设计.由于采用了特殊结构的高灵敏度压电传感器和极低自振量的旋转式电动驱动机构,使仪器的"虚假信号"降低到了(0.002～0.003)μm (Ra)、示值变动性达到了(0.001～0.002)μm(Ra)水平.